Les particules ultrafines (PUF), dont la taille est inférieure à 0,1 µm, se mesurent en nombre de particules par cm³.
D’après l’OMS (Organisation mondiale de la Santé) :
- des concentrations horaires supérieures à 20 000 particules/cm³ peuvent ainsi être considérées comme élevées,
- des concentrations moyennes journalières supérieures 10 000 particules/cm3 sont considérées comme élevées; en-dessous de 1 000 particules/cm3, elles sont considérées comme faibles.